HiPace 2300
上海伯東銷售維修 Pfeiffer HiPace 2300, 抽速最 高可達 2050 l/s 高性能. 分子泵通過保護等級 IP54 認證. 高抽速和氣體吞吐量. 集成驅動電路, 適用于半導體, 鍍膜, 工業和研發行業. 通過分子泵控制器, 監控操作數據保證分子泵的安全性. 集成水冷系統. 分子泵 HiPace 2300 提供防腐蝕款 C 和倒置款 U 供選擇.
HiPace 2300 特性
|
對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業環境應用要求
運行數據監控形成的運行安全性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節流閥和閥門的集成凈化氣體系統
|
|
HiPace 2300 技術參數
|
型號
|
HiPace 2300 TC 1200
DN 250 ISO-K
|
HiPace 2300 TC 1200
DN 250 ISO-F
|
HiPace 2300 TC 1200
DN 250 CF-F
|
|
Ar 壓縮比
|
>1X108
|
>1X108
|
>1X108
|
|
H2 壓縮比
|
2X104
|
2X104
|
2X104
|
|
He 壓縮比
|
3X105
|
3X105
|
3X105
|
|
N2 壓縮比
|
>1X108
|
>1X108
|
>1X108
|
|
最 大預抽真空, N2 hPa
|
1.8
|
1.8
|
1.8
|
|
Ar全轉速時氣體流量hPa l/s
|
16
|
16
|
8
|
|
H2 全轉速時氣體流量hPa l/s
|
>50
|
>50
|
30
|
|
He全轉速時氣體流量hPa l/s
|
>30
|
>30
|
16
|
|
N2 全轉速時氣體流量hPa l/s
|
28
|
28
|
11
|
|
操作電壓 V AC
|
90-265
|
90-265
|
90-265
|
|
最 大電流 A
|
10
|
10
|
10
|
|
允許最 大磁場 mT
|
7
|
7
|
7
|
|
Ar抽速l/s
|
1800
|
1800
|
1800
|
|
H2 抽速l/s
|
1850
|
1850
|
1850
|
|
He 抽速 l/s
|
2000
|
2000
|
2000
|
|
N2 抽速l/s
|
1900
|
1900
|
1900
|
|
轉速 ± 2 % rpm
|
31500
|
31500
|
31500
|
|
啟動時間 min
|
4
|
4
|
4
|
|
極限真空 hPa
|
1X10-7
|
1X10-7
|
5X10-10
|
|
重量 kg
|
35.5
|
36.6
|
51.8
|
上海伯東德國 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 2300 適用于半導體, 鍍膜, 工業和研發行業.
若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 羅女士 臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
上海伯東版權所有, 翻拷必究！