HiPace 1200-2800 IT
上海伯東銷售維修 Pfeiffer HiPace 1200-2800 IT, 抽速范圍 1200-2300 l/s 的全系列緊湊型復(fù)合軸承渦輪, 對小分子量氣體 H2, He 和大分子量氣體 Ar, CF4 都有很高的抽速. 由于這些分子泵通常在惡劣的工藝環(huán)境中使用, Pfeiffer 提供針對具體應(yīng)用的定制解決方案: 例如, 用于抗腐蝕的 Kepla®涂層, 用于防止高壓區(qū)域工藝沉積的溫度管理系統(tǒng), 以及在輻射下使用的外部電子設(shè)備.
HiPace 1200-2800 IT 特點
小分子氣體的高壓縮比
堅固的復(fù)合轉(zhuǎn)子懸架
對工藝沉積的抵抗力強
帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)
可用于帶有外部電子設(shè)備的抗輻射泵
溫度管理系統(tǒng)
標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證 SEMI S2, UL, CSA 和 TüV
防護(hù)等級 IP54 符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求
適用于各種嚴(yán)苛工藝如刻蝕, 濺鍍, 耐粉塵
HiPace 1200-2800 IT 技術(shù)參數(shù)：
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型號
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連接尺寸 DN
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抽速 l/s
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壓縮比
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最 高啟動壓強hPa
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極限壓力
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全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s
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啟動時間
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重量
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進(jìn)氣口
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排氣口
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氮氣
N2
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氦氣
He
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氫氣 H2
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氮氣
N2
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氮氣N2
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hPa
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氮氣N2
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min
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kg
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U
C
UC
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200
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40
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1250
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1300
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1100
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> 1X108
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2
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< 1X10–7
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20
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2.5
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27 – 40
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U
C
UC
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250
|
40
|
1400
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1350
|
1150
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> 1X108
|
2
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< 1X10–7
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20
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2.5
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29 – 41
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U
C
UC
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200
|
40
|
1450
|
1,650
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1700
|
> 1X108
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1.8
|
< 1X10–7
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20
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4
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33 – 34
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U
C
UC
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250
|
40
|
1900
|
2,000
|
1850
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> 1X108
|
1.8
|
< 1X10–7
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20
|
4
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34 – 47
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IT
IUT
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250
|
40
|
2300
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2900
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2600
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> 1X108
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1.8
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< 1X10–7
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18
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4
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62
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HiPace: 憑借成熟和優(yōu)化的軸承系統(tǒng)以及泵速和壓縮比之間的良好組合, 標(biāo)準(zhǔn)的 HiPace 分子泵適用于所有類型的應(yīng)用
HiPace C: 為腐蝕性應(yīng)用而設(shè)計. 得益于轉(zhuǎn)子上的 Kepla®涂層, HiPace C 分子泵對各種工藝化學(xué)品具有一定的抵抗力.
HiPace I: 專為離子注入工藝設(shè)計. 渦輪分子泵復(fù)雜的轉(zhuǎn)子設(shè)計使小分子氣體(氫氣)的抽速得到了優(yōu)化, 確保了離子注入工藝的最 佳工藝適應(yīng)性.鎳涂層轉(zhuǎn)子確保了分子泵的堅固性.
HiPace T: 溫度管理系統(tǒng)可以減少工藝沉積的數(shù)量. 通過提高高壓區(qū)的溫度, 可以減少冷凝現(xiàn)象. 該功能可與 C-版本（HiPace CT）相結(jié)合, 以提供對工藝化學(xué)品的耐腐蝕性以及對泵內(nèi)工藝沉積的耐受性.
HiPace 1200-2300 l/s 應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 分析儀器 2. 半導(dǎo)體 3. 鍍膜 4. 工業(yè) 5. 研發(fā)
上海伯東 Pfeiffer 抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速最 高 90,000 rpm, 極限真空最 大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 運行時間可以達(dá)到 100,000 小時! 提供復(fù)合軸承和五軸全磁浮二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 和共同使用.