HiPace 700
上海伯東德國普發 Pfeiffer HiPace 700. HiPace 700 對氮氣抽速可達到 685 l/s, 緊湊設計, 低能耗的同時保證更高抽吸能力.
HiPace 700 占地面積小, 任意位置安裝. 適用于工業環境-保護等級 IP 54, 通過半導體 S2, UL / CSA 認證. 通過控制器監控運算數據, 集成風冷.
HiPace 700 可選分子泵控制器 TC 400/TCP 350, 多種密封方式和配件供選擇, 上海伯東可協助客戶選型并提供完善的售后維修服務.
HiPace 700 特性
穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
HiPace 700 技術參數
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進氣口
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DN 160
ISO-K
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DN 160
CF-F
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DN 160
ISO-F
|
DN 160
ISO-K
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DN 160
CF-F
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DN 160
ISO-F
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圖片
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分子泵控制器
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型號
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標配
TC 400
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標配
TC 400
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標配
TC 400
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選配
TCP 350
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選配
TCP 350
|
選配
TCP 350
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抽速
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Ar L/S
|
665
|
665
|
665
|
665
|
665
|
665
|
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H2 L/S
|
555
|
555
|
555
|
555
|
555
|
555
|
|
He L/S
|
655
|
655
|
655
|
655
|
655
|
655
|
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N2 L/S
|
685
|
685
|
685
|
685
|
685
|
685
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壓縮比
|
Ar
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
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H2
|
4X105
|
4X105
|
4X105
|
4X105
|
4X105
|
4X105
|
|
He
|
3X107
|
3X107
|
3X107
|
3X107
|
3X107
|
3X107
|
|
N2
|
>1X1011
|
>1X1011
|
>1X1011
|
>1X1011
|
>1X1011
|
>1X1011
|
|
全轉速時氣體流量
|
Ar hPa l/s
|
3.5
|
3.5
|
3.5
|
1.5
|
1.5
|
1.5
|
|
H2 hPa l/s
|
>14
|
>14
|
>14
|
>8
|
>8
|
>8
|
|
He hPa l/s
|
20
|
20
|
20
|
5
|
5
|
5
|
|
N2 hPa l/s
|
6.5
|
6.5
|
6.5
|
3
|
3
|
3
|
|
極限壓力
|
hPa
|
＜1X10-7
|
＜5X10-10
|
＜1X10-7
|
＜1x10-7
|
＜5x10-10
|
＜1x10-7
|
|
最 大預抽真空
|
N2 hPa
|
11
|
11
|
11
|
11
|
11
|
11
|
|
電壓
± 5 %
|
VDC
|
48
|
48
|
48
|
48
|
48
|
48
|
|
最 大電流
|
A
|
8.4
|
8.4
|
8.4
|
8.75
|
8.75
|
8.75
|
|
轉速± 2 %
|
RPM
|
49200
|
49200
|
49200
|
49200
|
49200
|
49200
|
|
聲噪
|
dB(A)
|
≤50
|
≤50
|
≤50
|
≤50
|
≤50
|
≤50
|
|
允許最 大磁場
|
mT
|
6
|
6
|
6
|
6
|
6
|
6
|
|
啟動時間
|
min
|
2
|
2
|
2
|
5.5
|
2.5
|
2.5
|
|
重量
|
kg
|
11.5
|
17.4
|
12.1
|
10.6
|
16.5
|
10.6
|
* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環境中使用
* P 系列: 耐粉塵
* PLUS 系列: 極微振動,雜散磁場低
* : 更高的壓縮比,尤其適用于輕質氣體
Pfeiffer HiPace 700 套裝:
上海伯東提供完整的分子泵套裝供您選擇, 包含一臺 HiPace 700 分子泵主機和控制電源等, 分子泵套裝滿足基本的應用, 可以安裝在所有情況下并輕松調試渦輪分子泵. 套裝內配置如下:
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分子泵
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分子泵電源與控制器連接線
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風扇
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OmniControl 400
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接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m
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接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m
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HiPace 700
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD, 光學鍍膜, 硬質涂層
工業: 醫學技術, 工業檢漏, 電子束焊接, 隔離真空, 熱處理, 燈管制造
研發: 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術, 生物技術
分析儀器: 質譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導體: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉速最 高 90,000 rpm, 極限真空最 大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應用 >>