Pfeiffer HiPace 1200
上海伯東銷售維修德國普發 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可達 1250 l/s 的高性能. 對各種氣體均有高抽吸能力, 高工藝適用性, 防止進入顆粒. 集成驅動電路, 適用于工業環境, 通過保護等級 IP54. 通過控制器, 監控運算數據盡可能的保證的安全性. HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. HiPace 1200 通訊接口 RS-485, 遠程遙控（Profibus/DeviceNet 備詢）, 多種配件供客戶選擇.
渦輪分子泵 HiPace 1200 特性
對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業環境應用要求
監控運算數據盡可能的保證的安全性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節流閥和閥門的集成凈化氣體系統
Pfeiffer HiPace 1200 技術規格
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型號
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HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-K
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HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-F
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HiPace 1200 TC 1200
DN 200 CF-F
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Ar 壓縮比
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>1X108
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>1X108
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>1X108
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H2 壓縮比
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6X103
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6X103
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6X103
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He 壓縮比
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2X104
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2X104
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2X104
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N2 壓縮比
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>1X108
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>1X108
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>1X108
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最 大預抽真空, N2 hPa
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2
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2
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2
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Ar全轉速時氣體流量hPa l/s
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11
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11
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6
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H2 全轉速時氣體流量hPa l/s
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>30
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>30
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>30
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He全轉速時氣體流量hPa l/s
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>30
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>30
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16
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N2 全轉速時氣體流量hPa l/s
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20
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20
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16
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操作電壓 V AC
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100-120 / 200-240
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100-120 / 200-240
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100-120 / 200-240
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最 大電流 A
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10
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10
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10
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允許最 大磁場 mT
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6
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6
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6
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Ar抽速l/s
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1200
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1200
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1200
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H2 抽速l/s
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1100
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1100
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1100
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He 抽速 l/s
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1300
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1300
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1300
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N2 抽速l/s
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1250
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1250
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1250
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轉速 ± 2 % rpm
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37800
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37800
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37800
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啟動時間 min
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2.5
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2.5
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2.5
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極限真空 hPa
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1X10-7
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1X10-7
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5X10-10
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重量 kg
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29.5
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30.5
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40.9
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HiPace 1200:
鍍膜: LED, 光伏, 硬盤鍍膜, 硬質涂層, 卷繞鍍膜, 光學鍍膜, CD / DVD / PVD
工業: 醫學技術, 電子束焊接, 隔離真空, 燈管制造
研發: 聚變研究, 等離子研究, 模擬空間站, 基本粒子物理學, 生物技術
半導體: PVD, CVD, Beamline, MBE
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