磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯東德國 Pfeiffer 磁懸浮 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范圍在 1400-2800l/s 的磁懸浮. ATH 系列磁懸浮擁有5軸磁軸承監測系統和實時的轉子位移自動修正功能確保長時間的穩定性和可靠性, 同時運行時也非常安靜. 磁懸浮 ATH 系列廣泛應用于半導體, 鍍膜和離子刻蝕等行業.
Pfeiffer 磁懸浮 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 優點
1. 清潔無油, 大抽速
2. 免維護低成本保養費
3. 更低的振動和噪音
4. 不受限的任意方向安裝
5. 無工藝污染
P
feiffer 磁懸浮 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 技術參數
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型號
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連接尺寸 DN
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抽速 l/s
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壓縮比
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最 高啟動壓強hPa
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極限壓力
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全轉速氣體流量hPa l/s
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啟動時間
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重量
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進氣口
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排氣口
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氮氣
N2
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氦氣He
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氫氣 H2
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氮氣
N2
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氮氣N2
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hPa
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氮氣N2
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min
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kg
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ATH 1600 MT
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250
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40
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1,400
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970
|
540
|
> 1X108
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1.7
|
< 6X10–9
|
67
|
6
|
42
|
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ATH 2300 MT
|
250
|
40
|
2,150
|
1,800
|
1,100
|
> 1X108
|
2.9
|
< 6X10–9
|
67
|
8
|
68
|
|
ATH 2800 MT
|
250
|
40
|
2,200
|
2,400
|
1,550
|
> 1X108
|
2.1
|
< 6X10–9
|
84
|
10
|
93
|
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ATH 3200 MT
|
320
|
40
|
2,800
|
2,500
|
1,700
|
> 1X108
|
2.1
|
< 6X10–9
|
84
|
10
|
93
|
|
|
320
|
40
|
1,950
|
2,050
|
1,700
|
> 1X108
|
2.1
|
< 6X10–9
|
37
|
8
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60
|
MT 型號的分子泵配有集成加熱帶可以進行溫度控制. 其自帶加熱系統和水冷系統同時作用, 可以確保泵的工作溫度相對恒定 (最 高工作溫度75°C), 同時盡可能減少化學物或副產物在泵體內因冷凝而產生的沉積.
上海伯東 Pfeiffer 抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉速最 高 90,000 rpm, 極限真空最 大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 運行時間可以達到 100,000 小時! 提供復合軸承和五軸全磁浮二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 和共同使用.
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