主要參數

(1)行程長度：280mm

(2)立柱高度：600mm

(3)粗糙度分辨率：0.2nm；

(4)粗糙度示值誤差：3%；

(5)X軸：分辨率2nm，，精度±（1.0+L/1000）um；

(6)Z軸：分辨率6nm，，精度±(0.5 + L/200) μm。。

可從事的校準/檢測項目

(1)用于表面粗糙度樣板的校準；

(2)測量工件內外表面的輪廓特征（如角度，距離，圓弧半徑等）；

(3)測量表面微觀粗糙度（如Ra，，Rz，，Wa,Wt等

參數）。