Mahr 度量先進的技術實現一步完成輪廓和粗糙度測量。MarSurf LD 130 和 LD 260 測量站經過系統(tǒng)化的設計以利用第一代設備的經驗。
一步完成粗糙度和輪廓測量
高測量和定位速度可大幅減少測量時間
刪除創(chuàng)新的測頭系統(tǒng)
快速可靠的測桿更換，磁性支架同步檢測測桿
長測量長度，高達 260 mm (MarSurf LD 260)，測量行程 13 mm（100 mm 測桿長度）或 26 mm（200 mm 測桿長度）
模塊結構，方便維護
維護時無需拆卸測量立柱
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測量速度（文本）
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0.02 mm/s 至 10 mm/s；
粗糙度測量；
推薦 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s
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掃描長度末尾（X 方向）
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130 mm
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分辨率
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0.8 nm
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掃描長度開始（X 方向）
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0.1 mm
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定位速度（文本）
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0.02 mm/s 至 200 mm/s
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測量范圍 mm
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13 mm (100 mm probe arm)
26 mm (200 mm probe arm)
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掃描長度（文本)
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0.1 mm - 130 mm 或 260 mm
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測量力 (N)
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0.5 mN 至 30 mN，可軟件調整
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