德國Mahr 馬爾 MarSurf LD 130 LD 260 輪廓粗糙測量儀
精度用于粗糙度和輪廓及 130 mm 測量路徑
Mahr 計量的先進技術(shù)實現(xiàn)一步完成輪廓和粗糙度測量。MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 測量站在第一代設(shè)備經(jīng)驗的基礎(chǔ)上，又經(jīng)過系統(tǒng)化的設(shè)計。各種應(yīng)用中的測量任務(wù)越來越需要同時測量輪廓和粗糙度深度。測量儀器必須有很高的測量性能才能滿足這些要求。亞納米級分辨率和殘余噪聲 <20 nm Rz 只是一些基本要求。
優(yōu)點:
一步完成粗糙度和輪廓測量高測量和定位速度可大幅減少測量時間
創(chuàng)新的測頭系統(tǒng)解決方案，快速可靠的測桿更換，磁性支架同步檢測測桿
長測量長度，130 mm，測量行程 13 mm（100 mm 測桿長度）或 26 mm（200 mm 測桿長度）。模塊結(jié)構(gòu)，方便維護
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定位速度
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0.02 - 200 mm/s (X)
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掃描長度末尾（X方向）
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130 mm
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測量速度
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0.02 mm/s 至 10 mm/s；
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粗糙度測量
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推薦 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s
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導塊偏差
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0.35 μm / 60 mm
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分辨率
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0.8 nm
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測量范圍 mm
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13 mm（100 mm 測桿）
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掃描長度
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0.1 mm - 130 mm
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測量力
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