ATH 1603 M，對氮氣的抽速最 高可達 1400 l/s，水冷。外部分子泵驅動電路。可以安裝在任 何方向。CE標志和通過無鉛認證。核心科技是五軸控制全磁浮軸承，免維護，無需潤滑，保證內部清潔無油。全磁浮軸承保證了轉子的穩定性，在高速運轉過程中無摩擦，無磨損，低噪音低振動，可延長的使用壽命。
ATH 1603 M 多種配置可選 滿足不同需要：
1.兩種接口：DN 200/250
2.兩種密封方式：ISO-F/CF-F
3.另有可遠程控制款供客戶選擇
ATH 1603 M 技術參數：
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軸承
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五軸控制全磁浮軸承
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轉速
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39000 min-1
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對氮氣的壓縮比
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> 1 · 10 8
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最 大進氣壓力N2
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1.7 hPa
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對氮氣的抽速
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1400 l/s--1600 l/s
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啟動時間
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< 6 min
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極限真空度
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< 6 · 10-9 hPa
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重量
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34 (分子泵) + 8(分子泵電源控制器) kg
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ATH 1603 M 對不同氣體的抽速：
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ATH 1603 M 尺寸圖：
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全磁浮分子泵在售型號(中文資料)
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