HiPace 80
上海伯東銷售維修德國普發 Pfeiffer HiPace 80 抽速可達到 71 l/s 高性能. HiPace 80 對所有氣體的高抽速和更高壓縮比使其廣泛應用于真空行業. 集成驅動電路, 適用于工業環境, 通過保護等級 IP54, 半導體 S2, UL / CSA 認證. 通過控制器監控運算數據盡可能保證的安全性. HiPace 80 可以任意位置安裝. 自然風冷, 多種配件可選滿足廣泛應用.
HiPace 80 特性
穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
HiPace 80 技術參數
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進氣口
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DN 63
ISO-K
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DN 63
CF-F
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DN 40
ISO-KF
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DN 63
ISO-K
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DN 63
CF-F
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DN 40
ISO-KF
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圖片
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分子泵控制器
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型號
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標配
TC 110
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標配
TC 110
|
標配
TC 110
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選配
TCP 350
|
選配
TCP 350
|
選配
TCP 350
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抽速
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Ar L/S
|
66
|
66
|
30
|
66
|
66
|
30
|
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H2 L/S
|
48
|
48
|
38
|
48
|
48
|
38
|
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He L/S
|
58
|
58
|
41
|
58
|
58
|
41
|
|
N2 L/S
|
67
|
67
|
35
|
67
|
67
|
35
|
|
壓縮比
|
Ar
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
|
H2
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
1.4X105
|
|
He
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
1.3X107
|
|
N2
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
|
全轉速時氣體流量
|
Ar hPa l/s
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
0.54
|
|
H2 hPa l/s
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
15.3
|
|
He hPa l/s
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
2.7
|
|
N2 hPa l/s
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
|
極限壓力
|
hPa
|
＜1X10-7
|
＜5X10-10
|
＜1X10-7
|
＜1x10-7
|
＜5x10-10
|
＜1x10-7
|
|
最 大預抽真空
|
N2
|
22
|
22
|
22
|
22
|
22
|
22
|
|
電壓
± 5 %
|
VDC
|
24
|
24
|
24
|
24
|
24
|
24
|
|
最 大電流
|
A
|
4.6
|
4.6
|
4.6
|
5.5
|
4.6
|
4.6
|
|
轉速± 2 %
|
RPM
|
90000
|
90000
|
90000
|
90000
|
90000
|
90000
|
|
聲噪
|
dB(A)
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
≤48
|
|
允許最 大磁場
|
mT
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
3.3
|
|
啟動時間
|
min
|
1.7
|
1.7
|
1.7
|
3
|
3
|
3
|
|
重量
|
kg
|
2.4
|
3.8
|
2.4
|
2.1
|
3.5
|
2.1
|
* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環境中使用
Pfeiffer HiPace 80 套裝:
上海伯東提供完整的分子泵套裝供您選擇, 包含一臺 HiPace 80 分子泵主機和控制電源等, 分子泵套裝滿足基本的應用, 可以安裝在所有情況下并輕松調試渦輪分子泵. 套裝內配置如下:
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分子泵
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分子泵電源與控制器連接線
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風扇
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OmniControl 200
|
接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m
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|
接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m
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HiPace 80
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業: 醫學技術, 工業檢漏, 隔離真空, 燈管制造
研發: 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術, 生物技術
上海伯東客戶一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要針對金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長.
上海伯東客戶二：HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常壓光電子能譜儀設備
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上海伯東客戶三: HiPace 80, HiPace 300 用于自主搭建真空腔體
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HiPace 80 目前在售型號：
其他推薦
上海伯東 Pfeiffer 抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉速最 高 90,000 rpm, 極限真空最 大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 運行時間可以達到 100,000 小時! 提供復合軸承和五軸全磁浮二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 和共同使用.