Pfeiffer HiPace 1500
上海伯東銷售維修 HiPace 1500, 抽速可達 1450 l/s 的高性能. 對各種氣體均有高抽吸能力, 高工藝適用性, 防止進入顆粒. 集成驅動電路, 適用于工業環境, 通過保護等級 IP54. 帶有氣體密封閥 24 V DC 的集成型氣體密封系統.
HiPace 1500 特性
對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業環境應用要求
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節流閥和閥門的集成凈化氣體系統
HiPace 1500 技術參數：
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型號
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接口 DN
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抽速 l/s
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壓縮比
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最 高啟動壓強mbar
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極限壓力
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全轉速氣體流量hPa l/s
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啟動
時間
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重量
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進氣
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排氣
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氮氣
N2
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氦氣He
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氫氣 H2
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氮氣
N2
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氮氣N2
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hPa
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氮氣N2
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min
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kg
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HiPace 1500
Hipace 1500 C
Hipace 1500 U
Hipace 1500 UC
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250
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40
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1,400
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1,350
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1,150
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> 1X108
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2
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< 1X10–7
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20
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2.5
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29 – 41
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Hipace 1500 C 系列：抗腐蝕設計，專為腐蝕性氣體應用環境而設計研發
Hipace 1500 U 系列：可以倒裝
Hipace 1500 目前在售型號如下：
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