油擴散泵主要由泵體、擴散噴嘴、蒸氣導(dǎo)管、油鍋、加熱器、擴散器、冷卻系統(tǒng)和噴射噴嘴等部分組成。當(dāng)油擴散泵用前級泵預(yù)抽到低于1帕真空時,油鍋可開始加熱。沸騰時噴嘴噴出高速的蒸氣流，熱運動的氣體分子擴散到蒸氣流中，與定向運動的油蒸氣分子碰撞。氣體分子因此而獲得動量，產(chǎn)生和油蒸氣分子運動方向相同的定向流動。到前級，油蒸氣被冷凝，釋出氣體分子，即被前級泵抽走而達到抽氣目的。  

中國真空設(shè)備制造行業(yè)近年來無論是規(guī)模、品種還是技術(shù)水平都已取得了長足的進步,但整個行業(yè)與國外同行業(yè)相比,還仍然存在較大差距。

主要表現(xiàn)在：一是企業(yè)規(guī)模仍然偏小,全國散布著數(shù)百家生產(chǎn)企業(yè),其中有很大部分都是在以往國有企業(yè)中分散出來的家族式或朋友之間股份合作式小微企業(yè),整體實力偏弱；二是大部分企業(yè)研發(fā)投入少,沒有設(shè)立真正的研發(fā)部門,基本處于接單—設(shè)計—生產(chǎn)的簡單模式,導(dǎo)致在產(chǎn)品創(chuàng)新等方面遠遠落后于國外同行,產(chǎn)品同質(zhì)化現(xiàn)象嚴重,高端產(chǎn)品市場基本被國外同行壟斷。

沈陽諾思真空技術(shù)有限公司（原沈陽天成真空技術(shù)有限責(zé)任公司）成立于2012年，是以超高真空技術(shù)為基礎(chǔ)、從事各種真空應(yīng)用設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的技術(shù)型企業(yè)。

低油泵的熱負載主要是氣體的凝結(jié)熱和周圍壁面對工作冷板的輻射熱。凝結(jié)熱與氣體種類有關(guān)，對于80K、133.322帕·升的氮氣冷凝在20K冷板上的凝結(jié)熱為0.3～0.6焦耳。工作冷板接受的輻射熱與周圍壁面板溫度和工作冷板溫度兩者4次方之差成正比。因此，4.2K和20K工作冷板均用50～100K的冷板來屏蔽，以減少工作冷板所接受的輻射熱。