公司長期致力于真空泵維修保養(yǎng)fu務，以真空泵維修經(jīng)驗跟大家分享下真空泵維修一些修理經(jīng)驗。

有些泵，按其極限真空度的指標來說，也并不是很低的，但是生產(chǎn)上卻希望它還能提高些，應如何著手呢?

 對下面一臺新的2X-30型旋片式油封機械真空泵的修理經(jīng)驗就可借鑒。在該泵起初進行試抽時并未發(fā)現(xiàn)它有什么大毛病。生產(chǎn)上用它單獨抽空希望能穩(wěn)定地達到熱偶真空計75格以上(相當于麥氏訓·測的5X10;托)，而實際上它比所希望的低不多。

  修理時，將其拆卸后測得其主要部位間隙尺寸為:轉子切點間隙Q 04 nom,高真空室雙面間隙Q 07 mm，低真空室雙面間隙a 08 mm，轉子比旋片短0 02mm。這些數(shù)據(jù)與表2來比較，還是正常的范圍。

一直以來，真空泵的使用成本是影響人們選擇真空泵的重要因素。真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其他部件的損壞。由于真空泵設計為單級設計，同多級真空泵如圓裂片式、爪式以及組合式相比，其在零件的使用數(shù)量上減少了百分之六十。這使得其在穩(wěn)定性和將來的維修成本上有很大的優(yōu)勢。

 在真空泵維修中，應注意下述幾點:

   ①該泵制造精度較高，不是非常必要則不必拆開，以免檢修不當，降低精度。當然維修工作者應當提高自己的技術水平，在該泵技術性能變差時，應及時修理，{zh0}能定期(一年)檢修。

   ②檢修時，將泵從真空系統(tǒng)拆下后，開始檢查試抽，確認必須拆泵修理時，可按下列步驟進行:取去護翠，拆下三角皮帶及大皮帶、排氣筒，松開各進氣嘴處的壓蓋，把油放干凈后，拆去箱蓋和油密封室，取出主軸(不必拆斷鏈條)，然后抬出左右機座左右機座是泵的主要部分，拆卸時應仔細、小心、并注意檢查各零部件的損傷情況和裝配位置，拆下的零部件別放好，以免相互碰傷。