＜規格參數＞                  

1. 傳動方式: 無間隙摩擦傳動

2. 鏡頭: 高解析日本SONY

3. 光學放大倍率: 0.7~4.5X

4. 數位放大倍率: 15~150X

5. 燈源: 單向背光、面環光照明燈

6. 量測系統: 幾何量測、影像量測、手動對焦

7. Z軸高度量測方式: 手動對焦量測

8. X、Y軸線性精度: (3+L/200)um

9. 全機外觀尺寸:-

10. 機臺總重:-

11. 電源供應: 110-220V ±5% , 60HZ

12. 機臺校正: 都卜勒雷射校正

13. 光學尺解晰度: 1um

14. 重複性精度: 3um

15. 機臺量測行程: 400X300X200mm

16. 精度補正方式: 可線性及非線性補正

17. 影像擷取方式: SONY彩色CCD

18. 建議環境溫溼度:溫度20℃~25℃、溼度50%~60%

19.紅外線測物器