marsurf xr20是*上乘的表面粗糙度計量設備，能力檢驗室和車間提供所有符合ASEME、JIS和ISO等國際標準的參數，是MAHR累積數十年表面計量學經驗發展的設備。
功能特點:
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組成:
* 驅動器 PGK120
* 傳感器連探針套裝 MFW250
* 大理石機臺
* 數據處理控制器 Perthometer S2
選配:
* 測量軟件操作電腦系統 MarSurf XR20
* 標準塊 PGN-3
* X-Y移動臺
技術數據:
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驅動器*大行程
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120mm
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測量速度
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0.1mm/s
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直線度
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0.3um/120mm
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*高解析度
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8nm/5nm(軟件)
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驅動器調節傾斜范圍
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±1°
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驅動器的高度調節范圍
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50mm
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測量范圍
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±250um/±500um(選特定的測針)
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測量壓力
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0.7mN
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測針尖
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半徑2um/90°
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測量參數
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超過40種(75種, 軟件)粗糙度、波度、P-輪廓和圖案參數
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