UV光氧采用-C波段紫外線與空氣中的氧反響產生臭氧，合成油霧、廢氣等污染介質時，紫外線中的高能臭氧起決議性的作用。流星雨狀的高能臭氧與介質內分子（原理）發作非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發作激起、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態。到達凈化除臭的效果。
污染介質在電離的作用下，產生活性自在基，活化后的污染物分子經過定向鏈化學反響后被脫除。當均勻能量超越污染介質中化學鍵分離能時，分子鏈斷裂，污染介質合成，并在臭氧發作器吸附場的作用下被搜集。介質內分子濃度及共存的介質成分。
當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。(在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有有害物質轉變成無無害或低低害的物質，從而使污染物得以降解去除。)
【注意事項】
1、為保證設備的凈化效率，風機應設在廢氣凈化器的后面。
2、廢氣凈化器如安裝在支架之上時，應與支架緊固連接；與排氣管道之間的連接必須密封。
3、廢氣凈化器應安裝在室外，有足夠的空間用來維護與維修；室外安裝時，應加裝防雨、遮陽的遮陽篷，以免影響廢氣凈化器的正常使用壽命以及增加不必要的維護費用。
4、為保證廢氣凈化器的凈化效率，與設備出入風口連接的變徑風管要盡量平順。
5、廢氣凈化器箱體應安全可靠接地，安裝過程中不允許磕碰電極,嚴禁異物落在凈化器內等。
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