烘箱選型依據及理由 因為烘箱用在光刻工藝， 所以對其的潔凈度要求比較高， 同時用于膜的固化 等工藝， 保持片內的均勻性、 溫控系統也是要求較高。 烘箱的生產廠家國內和國 外都比較多， 用途也是多元化的， 從價格角度慮， 則把國內生產的烘箱放在首 位， 因為不論是售后fu務還是備件購買都會相對容易一些， 價格很低很多。 但光 刻工藝中要求嚴格控制烘箱產生的顆粒度。

烘箱是利用電熱絲隔層加熱使物體干燥的設備。其使用及注意事項總結如下：

7.有鼓風的烘箱，在加熱和恒溫的過程中必須將鼓風機開啟，否則影響工作室溫度的均勻性和損壞加熱元件。

8.工作完畢后應及時切斷電源，確保安全。

9.烘箱內外要保持干凈。

10.使用時，溫度不要超過烘箱的zui高使用溫度。

11.為防止燙傷，取放試品時要用專門工具。

真空烘箱使用流程

1、將物料均勻放入真空烘箱附帶的烘箱內，將烘盤插入烘架車中，推入干燥箱內。 2、如果采用蒸氣加熱或水加熱的方式，則需用快接將專用烘架車(上下口)的兩個加熱口，與水或蒸氣的所口接好?！　?、關緊箱門，放氣閥，箱門上有螺栓，可使箱門與硅膠密封條緊密結合?！　?、將真空泵與真空閥連接，開啟真空閥，抽真空。　　5、依據真空泵的性能，抽到壓力表為真空泵的極限值為準?！　?、抽完真空后，先將真空閥門關閉，如果真空閥門關不緊，請更換，然后再將真空泵電源關閉或移除。(防止倒吸現象產生)　　7、本所物料的干燥周期，每隔一段時間觀察一下，歷力表，溫度表，和箱體內的變化，來處理。如果壓力表指數下降，則可能存在漏氣現象，可再進行抽氣操作。　　8、干燥完成后，先將放氣閥打開，放出里面氣體，再進行打開烘門，取出物料