烘箱選型依據(jù)及理由 因為烘箱用在光刻工藝， 所以對其的潔凈度要求比較高， 同時用于膜的固化 等工藝， 保持片內(nèi)的均勻性、 溫控系統(tǒng)也是要求較高。 烘箱的生產(chǎn)廠家國內(nèi)和國 外都比較多， 用途也是多元化的， 從價格角度慮， 則把國內(nèi)生產(chǎn)的烘箱放在首 位， 因為不論是售后fu務(wù)還是備件購買都會相對容易一些， 價格很低很多。 但光 刻工藝中要求嚴(yán)格控制烘箱產(chǎn)生的顆粒度。

烘箱是利用電熱絲隔層加熱使物體干燥的設(shè)備。其使用及注意事項總結(jié)如下：

7.有鼓風(fēng)的烘箱，在加熱和恒溫的過程中必須將鼓風(fēng)機開啟，否則影響工作室溫度的均勻性和損壞加熱元件。

8.工作完畢后應(yīng)及時切斷電源，確保安全。

9.烘箱內(nèi)外要保持干凈。

10.使用時，溫度不要超過烘箱的zui高使用溫度。

11.為防止?fàn)C傷，取放試品時要用專門工具。

真空烘箱使用流程

1、將物料均勻放入真空烘箱附帶的烘箱內(nèi)，將烘盤插入烘架車中，推入干燥箱內(nèi)。 2、如果采用蒸氣加熱或水加熱的方式，則需用快接將專用烘架車(上下口)的兩個加熱口，與水或蒸氣的所口接好。　　3、關(guān)緊箱門，放氣閥，箱門上有螺栓，可使箱門與硅膠密封條緊密結(jié)合。　　4、將真空泵與真空閥連接，開啟真空閥，抽真空。　　5、依據(jù)真空泵的性能，抽到壓力表為真空泵的極限值為準(zhǔn)。　　6、抽完真空后，先將真空閥門關(guān)閉，如果真空閥門關(guān)不緊，請更換，然后再將真空泵電源關(guān)閉或移除。(防止倒吸現(xiàn)象產(chǎn)生)　　7、本所物料的干燥周期，每隔一段時間觀察一下，歷力表，溫度表，和箱體內(nèi)的變化，來處理。如果壓力表指數(shù)下降，則可能存在漏氣現(xiàn)象，可再進行抽氣操作。　　8、干燥完成后，先將放氣閥打開，放出里面氣體，再進行打開烘門，取出物料