等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，最初用于氟利昂類、哈隆類物質的分解處理，后延伸至工業惡臭、異味、有毒有害氣體處理。該技術節能、環保，應用范圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二噩英有良好的分解效果。

低溫等離子體技術在氣態污染物治理方面優勢顯著。其基本原理是在電場的加速作用下，產生高能電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到消除氣態污染物的目的。1980年，日本東京大學S．Masuda教授提出的高壓脈沖電暈放電法是常溫常壓下得到低溫等離子體的最簡單、有效的方法。它已成為目前的研究前沿，也正越來越多的用于氣態污染物的治理。

在工業廢氣處理設備的使用過程中，我們應該掌握一些注意事項，以免在使用過程中造成設備的損壞，還可以更好地把握工作進度：

1、在使用過程中，應及時檢查吸收液中酸堿濃度，當發現酸性濃度過高時應該及時更換吸收液。

2、工業廢氣處理設備周圍應保持干凈衛生。

3、凈化塔中的吸收液是通過加液箱進行添加，液位因與進葉口水平，工業廢氣處理設備運行后，這時會有一部分液體進入循環系統中，再次添加液體使得與進液口水平；在使用過程中應觀察吸收液使用情況，當發現消耗多時要及時添加，吸收液應每8小時進行一次檢查，而且缺少時要及時添加。