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青島福潤德微電子設(shè)備有限公司

聯(lián)系人:呂小姐

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地址:城陽區(qū)北萬工業(yè)園

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詳細(xì)介紹
高純材料提純設(shè)備主要滿足高純砷等新材料制造行業(yè),對材料進(jìn)行氣氛保護(hù)下的燒結(jié)、升華、還原、精餾等工藝。主要性能指標(biāo):
?外型形式:臥式結(jié)構(gòu),水平爐管
?工作溫度:200℃—1100℃
?恒溫區(qū)長度:根據(jù)工藝要求
?儀表控溫精度:千分之三高精度
?可通工藝氣體:氮?dú)?、氧氣、氫氣、氬氣?/span>
?氣體控制方式:MFC或浮子流量計控制
?報警系統(tǒng):氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警
?控制方式:程序控制或工控機(jī)+觸摸屏控制
產(chǎn)品特點:
?采用國內(nèi)獨(dú)有的開合式設(shè)計方式;
?工藝降溫速度快;
?生產(chǎn)效率高;
?設(shè)備維護(hù)簡便
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