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供應青島福潤德牌frd-012微控四管擴散爐

發布:青島福潤德微電子設備有限公司 2016-12-12 本頁網址： http://m.1991game.com/sell/42800316.html
供應青島福潤德牌frd-012微控四管擴散爐

青島福潤德微電子設備有限公司

聯系人：呂小姐

電話：0532-68017157

地址：城陽區北萬工業園

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詳細介紹
本設備加熱部分選用進口爐絲以及耐高溫保溫材料，爐體使用壽命長，保溫性能好。送片系統采用絲杠、導軌副及SiC槳懸臂式推拉舟結構，可確保進出舟運行平穩，同時能有效地防止因磨擦而產生的粉塵污染。溫控部分選用帶有自整定PID調節系統、0.1級精度以及具有多項保護功能的進口高檔溫控儀，因而控溫精度高，溫度穩定性好，升、降溫響應速度快，同時可與計算機通訊實現升降溫速率自動控制。氣路部分的關鍵件均采用進口件，并具有完善的安全保護措施，可靠性好。整機由計算機控制，各部分軟、硬件聯鎖；操作部分采用先進的觸摸屏技術，工藝參數的設置及運行均可在觸摸屏上直接進行；自動化程度高、操作簡便、可靠性好。 1.2主要用途及適用范圍 本設備主要用于8英寸硅片以下太陽能器件制造中的擴散、氧化工藝；也可用于半導體器件制造中的擴散、氧化、退火及合金工藝，同時還適用于對其他材料的特殊溫度處理。
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