供應(yīng)青島福潤德牌frd-012微控四管擴散爐

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詳細介紹

本設(shè)備加熱部分選用進口爐絲以及耐高溫保溫材料，爐體使用壽命長，保溫性能好。送片系統(tǒng)采用絲杠、導(dǎo)軌副及SiC槳懸臂式推拉舟結(jié)構(gòu)，可確保進出舟運行平穩(wěn)，同時能有效地防止因磨擦而產(chǎn)生的粉塵污染。溫控部分選用帶有自整定PID調(diào)節(jié)系統(tǒng)、0.1級精度以及具有多項保護功能的進口高檔溫控儀，因而控溫精度高，溫度穩(wěn)定性好，升、降溫響應(yīng)速度快，同時可與計算機通訊實現(xiàn)升降溫速率自動控制。氣路部分的關(guān)鍵件均采用進口件，并具有完善的安全保護措施，可靠性好。整機由計算機控制，各部分軟、硬件聯(lián)鎖；操作部分采用先進的觸摸屏技術(shù)，工藝參數(shù)的設(shè)置及運行均可在觸摸屏上直接進行；自動化程度高、操作簡便、可靠性好。 1.2主要用途及適用范圍本設(shè)備主要用于8英寸硅片以下太陽能器件制造中的擴散、氧化工藝；也可用于半導(dǎo)體器件制造中的擴散、氧化、退火及合金工藝，同時還適用于對其他材料的特殊溫度處理。

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