山東真空排氣裝置_超高真空排氣批
高真空排氣機組
設備特點與技術(shù)指標：
1.真空獲得為復合分子泵+機械泵，設備真空度在分子泵氣動到100HZ后優(yōu)于3*10-3pa；30分鐘以內(nèi)優(yōu)于5*10-4pa；極限真空3*10-5pa。
2.機組為可移動臺式小車結(jié)構(gòu)，能夠滿足不同位置排氣的需要。機組配備預抽排氣系統(tǒng)，可在分子泵不停止的狀態(tài)下實現(xiàn)換工件、預抽真空、抽高真空的排氣流程，縮短了排氣時間，有效提高了工作效率。

機組配置：
600升風冷復合分子泵1套
愛德華rv-8機械泵臺
cf150動插板閥1只
高真空復合真空計1套（包括cf35電離規(guī)、kf16熱偶規(guī)）
直徑150mm*200mm真空室1套
帶腳輪、圍板及不銹鋼臺面的小車1套

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