HiPace 400
上海伯東銷售維修德國普發 Pfeiffer HiPace 400, 緊湊設計, 抽速可達到 355 l/s 緊湊有力的, 進氣法蘭 DN 100, 通過保護等級 IP54, 半導體 S2, UL / CSA 認證. 渦輪分子泵 HiPace 400 高抽速和壓縮比, 集成驅動電路, 適用于工業環境和實驗研究. 通過控制器監控運算數據保證的安quan性. 渦輪 HiPace 400 可選風冷或水冷.
HiPace 400 特性
穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
HiPace 400 技術參數
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分子泵型號
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接口 DN
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抽速 l/s
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壓縮比
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啟動壓強mbar
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極限壓力
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全轉速氣體流量hPa l/s
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啟動時間
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重量
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進氣口
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排氣口
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氮氣
N2
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氦氣He
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氫氣 H2
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氮氣
N2
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氮氣N2
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hPa
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氮氣N2
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min
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kg
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HiPace 400
HiPace 400 P
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100
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25
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355
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470
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445
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> 1X1011
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11
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< 1X10–7
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6.5
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2
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11.6 – 17.5
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HiPace P 系列, 因其能抵抗工業粉塵和微小粒子而廣泛應用于工業領域
HiPace 400: 廣泛應用于各個真空行業
鍍膜: 光伏, CD/ DVD/ PVD, 光學鍍膜, 硬質涂層
工業: 醫學技術, 工業檢漏, 電子束焊接, 隔離真空, 熱處理, 燈管制造
研發: 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術, 生物技術
分析儀器: 小型質譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導體: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks
上海伯東客戶一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要針對金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長.
HiPace 400 尺寸圖：
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上海伯東 Pfeiffer 抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 運行時間可以達到 100,000 小時! 提供復合軸承和五軸全磁浮二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 和共同使用.