HiPace 700
上海伯東德國(guó)普發(fā) Pfeiffer HiPace 700. HiPace 700 對(duì)氮?dú)獬樗倏蛇_(dá)到 685 l/s, 緊湊設(shè)計(jì), 低能耗的同時(shí)保證更高抽吸能力.
HiPace 700 占地面積小, 任意位置安裝. 適用于工業(yè)環(huán)境-保護(hù)等級(jí) IP 54, 通過(guò)半導(dǎo)體 S2, UL / CSA 認(rèn)證. 通過(guò)控制器監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù), 集成風(fēng)冷.
HiPace 700 可選分子泵控制器 TC 400/TCP 350, 多種密封方式和配件供選擇, 上海伯東可協(xié)助客戶(hù)選型并提供完善的售后維修服務(wù).
HiPace 700 特性
穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計(jì)和經(jīng)過(guò)實(shí)踐證明的高可靠性分子泵軸承系統(tǒng)
結(jié)構(gòu)緊湊, 滿(mǎn)足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護(hù)等級(jí) IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過(guò) SEMI S2 和 UL 認(rèn)證
HiPace 700 技術(shù)參數(shù)
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進(jìn)氣口
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DN 160
ISO-K
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DN 160
CF-F
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DN 160
ISO-F
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DN 160
ISO-K
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DN 160
CF-F
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DN 160
ISO-F
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圖片
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分子泵控制器
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型號(hào)
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標(biāo)配
TC 400
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標(biāo)配
TC 400
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標(biāo)配
TC 400
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選配
TCP 350
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選配
TCP 350
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選配
TCP 350
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抽速
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Ar L/S
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665
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665
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665
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665
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665
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665
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H2 L/S
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555
|
555
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555
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555
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555
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555
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He L/S
|
655
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655
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655
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655
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655
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655
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N2 L/S
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685
|
685
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685
|
685
|
685
|
685
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壓縮比
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Ar
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1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
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H2
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4X105
|
4X105
|
4X105
|
4X105
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4X105
|
4X105
|
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He
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3X107
|
3X107
|
3X107
|
3X107
|
3X107
|
3X107
|
|
N2
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>1X1011
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>1X1011
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>1X1011
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>1X1011
|
>1X1011
|
>1X1011
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全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量
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Ar hPa l/s
|
3.5
|
3.5
|
3.5
|
1.5
|
1.5
|
1.5
|
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H2 hPa l/s
|
>14
|
>14
|
>14
|
>8
|
>8
|
>8
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He hPa l/s
|
20
|
20
|
20
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5
|
5
|
5
|
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N2 hPa l/s
|
6.5
|
6.5
|
6.5
|
3
|
3
|
3
|
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極限壓力
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hPa
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＜1X10-7
|
＜5X10-10
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＜1X10-7
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＜1x10-7
|
＜5x10-10
|
＜1x10-7
|
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預(yù)抽真空
|
N2 hPa
|
11
|
11
|
11
|
11
|
11
|
11
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電壓
± 5 %
|
VDC
|
48
|
48
|
48
|
48
|
48
|
48
|
|
電流
|
A
|
8.4
|
8.4
|
8.4
|
8.75
|
8.75
|
8.75
|
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轉(zhuǎn)速± 2 %
|
RPM
|
49200
|
49200
|
49200
|
49200
|
49200
|
49200
|
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聲噪
|
dB(A)
|
≤50
|
≤50
|
≤50
|
≤50
|
≤50
|
≤50
|
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允許磁場(chǎng)
|
mT
|
6
|
6
|
6
|
6
|
6
|
6
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啟動(dòng)時(shí)間
|
min
|
2
|
2
|
2
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5.5
|
2.5
|
2.5
|
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重量
|
kg
|
11.5
|
17.4
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12.1
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10.6
|
16.5
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10.6
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* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環(huán)境中使用
* P 系列: 耐粉塵
* PLUS 系列: 極微振動(dòng),雜散磁場(chǎng)低
* : 更高的壓縮比,尤其適用于輕質(zhì)氣體
Pfeiffer HiPace 700 套裝:
上海伯東提供完整的分子泵套裝供您選擇, 包含一臺(tái) HiPace 700 分子泵主機(jī)和控制電源等, 分子泵套裝滿(mǎn)足基本的應(yīng)用, 可以安裝在所有情況下并輕松調(diào)試渦輪分子泵. 套裝內(nèi)配置如下:
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分子泵
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分子泵電源與控制器連接線
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風(fēng)扇
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OmniControl 400
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接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m
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接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m
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HiPace 700
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD, 光學(xué)鍍膜, 硬質(zhì)涂層
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 電子束焊接, 隔離真空, 熱處理, 燈管制造
研發(fā): 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術(shù), 生物技術(shù)
分析儀器: 質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導(dǎo)體: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速高 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿(mǎn)足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>