MarOpto FI 1100 Z 干涉儀
強(qiáng)大的 Fizeau 干涉儀.
最小的測(cè)量不確定性和優(yōu)異的靈活性及多功能性
無接觸形狀和軸前測(cè)量
MarOpto FI 1100 Z 是一款功能強(qiáng)大的緊湊型干涉儀，孔徑 100 mm，可以提供平面和球面以及波陣面非接觸測(cè)量。
可以通過簡(jiǎn)單的干涉條紋檢測(cè)、IntelliPhase 靜態(tài)空間載波分析或標(biāo)準(zhǔn)相位盤來執(zhí)行測(cè)量。MarOpto FI 1100 Z 可提供現(xiàn)在的工業(yè)應(yīng)用需要的靈活性和優(yōu)異的性能。除表面測(cè)試光學(xué)組件外，還可以測(cè)量曲率和波陣面的半徑。
尺寸小，方便集成到 OEM 系統(tǒng)。因此能夠以極高的實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的測(cè)量。干涉儀可用于水平和垂直方向。
我們產(chǎn)品的各種應(yīng)用
測(cè)量平、凹或凸表面
棱柱、角錐、楔角和均勻度測(cè)量
測(cè)量車削、陶瓷和晶圓表面
光學(xué)系統(tǒng)和組件的波陣面分析
集成到 OEM 系統(tǒng)