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3位真空閘閥 21700 系列
上海伯東 HVA 3位 21700 系列適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè). HVA 3位與上游質(zhì)量流量控制器一起使用時(shí), 提供異常壓力控制功能, 該也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過渡. HVA 3位采用兩個(gè)氣動(dòng)電磁閥和一個(gè)空氣壓力調(diào)節(jié)器控制閥門的3種開啟方式: 一個(gè)電磁閥控制閥門的*全關(guān)閉和*全開啟, 另一個(gè)電磁閥用于控制和調(diào)節(jié)閥門的任意開啟位置. 21700 系列3位廣泛應(yīng)用于低溫泵, , 及其他對(duì)清潔度要求高, 低除氣的高真空行業(yè).
3位 21700 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 機(jī)械預(yù)設(shè), 遙控過渡閥位
2. 三個(gè)位置都有指示器
3. 標(biāo)準(zhǔn)或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 3位 21700 系列技術(shù)參數(shù)：
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閥門材質(zhì)：
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閥門主體
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304不銹鋼
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焊接波紋管軸封
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AM-350
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驅(qū)動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)銷
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硬質(zhì)不繡鋼
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閥門密封方式：
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高真空
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氟橡膠
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漏率
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<2×10-9 mbar l/s
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差壓關(guān)閉
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1 bar
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真空：
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壓力范圍
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高真空1x10-9 mbar
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漏率
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< 2x10-9 mbar l/S
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差壓關(guān)閉
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1 bar (任意位置)
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開啟前*大壓力
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≤ 30 mbar
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烘烤溫度（不含電磁閥）：
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閥門主體
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150 °c
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驅(qū)動(dòng)方式
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氣動(dòng) 60 °c
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使用壽命：100,000啟閉次數(shù)
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公稱通徑：DN100-320 mm
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美國 HVA -美國*大制造商。美國HVA原裝，超過50年的高真空和超高設(shè)計(jì)與制造。主營高，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國HVA 在中國地區(qū)only指定總代理商。
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