真空箱真空泵，是抽除密封容器中的氣體從而獲得真空的主要設備。

旋片式真空泵的極限真空為6X10 -2 Pa抽氣量為30L/S，用于抽除密封容積中的干燥氣體

或含有少量可凝性蒸汽的氣體，用于后者時，需要使用該泵的氣鎮裝置。可以用作羅茨泵的前級泵，

適合于中小型的真空冶煉、真空焊接、真空處理、冷凍干燥、電子管、以及半導體器件、太陽能，電池板、電子束加工、

電子顯微鏡等現代工業技術方面。缺點：旋片式真空泵只能在環境溫度5～40°范圍內，此種泵對

于抽除含氧過高的、有爆炸性的、對金屬有腐蝕性的、對真空油起化學反應的以及含有顆粒灰塵的氣

體是不適合的；把氣體從一個容器輸送到另一個容器作輸送泵使用也是不適用的。