與熔融切割不同，激光氧化切割使用活性氧作為輔助氣體。由于氧與已經(jīng)受熱的金屬材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，釋放出大量的熱量，使這些材料被二次加熱。

在激光束的照射下，材料表面迅速加熱到燃點(diǎn)溫度。然后與氧氣劇烈的燃燒反應(yīng)，放出大量的熱量。在這種熱量的作用下，材料內(nèi)部形成一個(gè)充滿蒸汽的孔。

氧氣流量越大，氧化化學(xué)反應(yīng)和吹除材料熔渣速度越快。但是，如果氧氣速度過快，會(huì)導(dǎo)致切割縫隙處的材料處迅速冷卻，對(duì)切割質(zhì)量產(chǎn)生負(fù)面影響。

切割過程中有兩種熱源：激光束照射能量和化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生的熱量。據(jù)估計(jì)，在切割碳鋼時(shí)，氧化反應(yīng)產(chǎn)生的熱能占切割所需能量的60%。

在氧化切割過程中，如果氧化燃燒速度高于激光束的移動(dòng)速度，則狹縫將變得更寬、更粗糙；否則，如果移動(dòng)速度慢，則狹縫將變得更窄、更光滑。