柱弧離子鍍膜機
利用我公司生產的柱弧離子鍍膜機，在不同硬度基體上制備了Ti／TiN／Ti(N，C)／TiC多層復合膜。膜呈深黑色，反射率小于14％，亮度值為3，小于43，沉積速率約為0.78 um/h，表面分布較多液滴缺陷。膜的力學性能測試受基體硬度和膜層厚度影 響較大，基體越硬、膜層越厚，膜的硬度以及與基體的結合力測試結果越大。YW2硬質合金基體上制備0.82um的黑色硬質膜 顯微硬度日v(25。)=3229，結合力為26.70 N。
傳統的的多弧離子鍍工藝鍍制TiC黑色硬質膜，工藝范圍寬，但顏色不深，滿足不了高檔裝飾鍍膜的市場需要。我公司生產的柱弧離子鍍膜機的弧源是細長圓柱結構，利用一個柱弧源就可以在比較大的范圍內進行均勻鍍膜。通過合適的磁場控制，柱弧源還可以在比較小的弧流下穩定工作。柱弧離子鍍膜機的這些特點為穩定鍍制富C的TiC深黑色硬質膜提供了可能。利用柱弧離子鍍膜機鍍制多層膜結構的深黑色硬質膜，具有工藝范圍寬、顏色深等諸多優點，已成功應用于工業產品的生產。
廣東振華真空科技，李偉
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