柱弧離子鍍膜機(jī)
利用我公司生產(chǎn)的柱弧離子鍍膜機(jī)，在不同硬度基體上制備了Ti／TiN／Ti(N，C)／TiC多層復(fù)合膜。膜呈深黑色，反射率小于14％，亮度值為3，小于43，沉積速率約為0.78 um/h，表面分布較多液滴缺陷。膜的力學(xué)性能測試受基體硬度和膜層厚度影 響較大，基體越硬、膜層越厚，膜的硬度以及與基體的結(jié)合力測試結(jié)果越大。YW2硬質(zhì)合金基體上制備0.82um的黑色硬質(zhì)膜 顯微硬度日v(25。)=3229，結(jié)合力為26.70 N。
傳統(tǒng)的的多弧離子鍍工藝鍍制TiC黑色硬質(zhì)膜，工藝范圍寬，但顏色不深，滿足不了高檔裝飾鍍膜的市場需要。我公司生產(chǎn)的柱弧離子鍍膜機(jī)的弧源是細(xì)長圓柱結(jié)構(gòu)，利用一個柱弧源就可以在比較大的范圍內(nèi)進(jìn)行均勻鍍膜。通過合適的磁場控制，柱弧源還可以在比較小的弧流下穩(wěn)定工作。柱弧離子鍍膜機(jī)的這些特點為穩(wěn)定鍍制富C的TiC深黑色硬質(zhì)膜提供了可能。利用柱弧離子鍍膜機(jī)鍍制多層膜結(jié)構(gòu)的深黑色硬質(zhì)膜，具有工藝范圍寬、顏色深等諸多優(yōu)點，已成功應(yīng)用于工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)。
廣東振華真空科技，李偉
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