日本堅山KASHIYAMA干式真空泵MU-X系列

羅茨干泵實現最小的能源消耗和排放。

{zh0}的清潔泵抽水，例如L/L和轉移室等。

適合于各種工具。

日本堅山工業（KASHIYAMA）的產品在半導體制造領域和先進的高科技行業中已經榮獲了極高的評價與信賴。尤其是來自于半導體制造行業的信賴,這是日本樫山工業（KASHIYAMA）多年長期以來不斷開發進取真空技術的結果。

日本樫山工業（KASHIYAMA）的干式真空泵系列已經成為半導體制造業與液晶顯示制造行業的標準設備。并在極高難度的制程發揮上獲得了客戶的高度信賴與評價。除了干式真空泵以外,魯式及排氣組合式真空泵設備在廣泛的領域當中發揮它的威力。

圖產品為日本樫山工業KASHIYAMA的干式真空泵MU-X 系列。

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日本樫山工業（KASHIYAMA）全系列泵產品：

SDE-TX系列： SDE120TX,SDE303TX,SDE603TX,SDE1203TX,SDE20M12TX,SDE30M12TX

SDE-X系列：SDE90X,SDE303X,SDE603X,SDE1203X,SDE20M09X,SDE30M09X

SDE系列： SDE1220,SDE20M20,SDE30M20,SDE4060,SDE4030M20,SDE8060, SDE804060

SDL系列：SDL12E50,SDL20E50,SDL36M60,SDL40E60,SDL40E201,SDL40EW201,SDL80201

MU-X系列：MU100X,MU180X,MU300X,MU600X, MU1200X, MU20M18X,MU-P/H

MU-P/H系列：MU100P/H,MU180P/H,MU300P/H,MU600P/H,MU1200P/H,MU20M18P/H

NeoDry系列:NeoDry7E,NeoDry15E,NeoDry30E, NeoDry36E,NeoDry60E,NeoDry300E

LEH系列：LEH30MA,LEH50MA, LEH100MA, LEH150MA, LEH200MA, LEH300MA

LEM系列：LEM3,LEM6,LEM20MA, LEM40MA