羅茨真空泵的介紹

一、羅茨真空泵的概念和分類：

1、概念：羅茨真空泵是一種旋轉式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風機演變而來的。它于1944年首先出現于德國，是為適應在10 ～ 1000Pa 壓力范圍內具有大抽速的真空熔煉系統而作為機械增壓泵使用。

2、分類：根據羅茨真空泵工作壓力范圍的不同，分為：

（1）、直排大氣的低真空羅茨泵；

（2）、中真空羅茨泵 ( 機械增壓泵 )；

（3）、高真空多級羅茨泵。

國內用量最多的為中真空羅茨泵。

二、羅茨真空泵的特點：與其它油封式真空泵相比有以下特點：

1、在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；

2、轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體 間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；

3、泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；

4、泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

5、壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

6、轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。羅茨真空泵近幾年在國內外得到較快的發展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業得到了廣泛的應用。

機械真空泵的特殊工作條件要求真空泵油應具有以下性能：

（1）極低的蒸汽壓：這是真空泵油的最重要性能，由于真空泵要求真空度達到1.33×10-4Pa（或10-6mmHg），高的要求達到1.33×10-6Pa（10-8mmHg）以下，這就要求真空泵油的蒸發性極低，而且要求消耗量極少，以防蒸發。一般要用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸汽壓很低的硅油或其它合成油。

（2）合適的粘度和良好的粘溫特性：真空泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和良好的粘溫特性。

（3）良好的熱氧化安定性：真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解。而擴散泵往往處于很高的環境溫度（可達200℃）下工作，使系統內蒸汽壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。

（4）良好的抗腐蝕性與抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發生化學變化，腐蝕泵內金屬零件。另外，吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，故要求有良好的抗腐蝕性與抗乳化性（水分離性能）。在真空脫水工藝使用的真空泵油的乳化更為突出。

（5）較高的閃點：主要要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸汽壓。

（6）較低的極限壓力：極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標，以了解在真空極限壓力下真空泵的極限壓力。

羅茨泵在泵腔內，有二個“8”字形的轉子相互中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯使用。

　　羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。