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分子泵 Pfeiffer HiPaceTM 700
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Pfeiffer Hipace300 Turbo Pump德國普發分子泵
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3、裝入爐底料盤中的工件應符合要求,不能過高過大,
以免爐絲受熱變形與工件接觸造成短路現象。



Hipace700p
入口法蘭:DN160ISO-K
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葉片的角度大,則排氣速度大,壓縮比小。葉片的角度小,則排氣速度小,壓縮比大。分子泵的排氣速度基本上不受氣體種類的影響,泵的極限壓強可達10-8 Pa,但是對輕分子/原子,排氣速度會有所降低。
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