提高加熱爐熱效率的主要措施：

（1）采用{gx}、大能量的燃燒器，提高燃燒質(zhì)量。

（2）監(jiān)控?zé)煔庵械难鹾鸵谎趸己浚档瓦^(guò)剩空氣系數(shù)。

（3）增設(shè)空氣預(yù)熱器或余熱鍋爐，回收煙氣余熱。

（4）對(duì)流室采用釘頭管或翅片管，設(shè)置自動(dòng)吹灰器，強(qiáng)化對(duì)流式的傳熱過(guò)程，使之多吸收熱量。

（5）采用低傳熱系數(shù)的耐火絕熱材料，降低爐壁散熱損失。

（6）加強(qiáng)堵漏，減少漏入爐膛的空氣量。

（7）采用計(jì)算機(jī)或數(shù)字控制儀進(jìn)行最.佳燃燒控制。

沉積的均勻性與電極和腔室的設(shè)計(jì)很有關(guān)系。管式PECVD系統(tǒng)由于其石墨舟中間鏤空，因此利用了硅片作為電極的一部分，因此輝光放電的特性就與硅片表面的特性有了一定的關(guān)系，比如硅片表面織構(gòu)化所生成的金子塔{jd0}的狀態(tài)就對(duì)等離子體放電產(chǎn)生影響，而目前硅片的電導(dǎo)率的不同也影響到等離子場(chǎng)的均勻性。另外管式PECVD的氣流是從石英管一端引入，這樣也會(huì)造成工藝氣體分布的不均勻。

　板式PECVD系統(tǒng)使用了襯底板作為電極，而且采用勻氣的Shower系統(tǒng)，但是由于襯底板在長(zhǎng)期加熱后會(huì)有稍微的翹曲，從而造成平行板電極間距的不一致，也會(huì)造成片間不均勻。另外，等離子體直接法在大面積沉積時(shí)會(huì)造成由于高頻波長(zhǎng)所帶來(lái)的附加的不均勻性。

加熱爐為什么要分輻射室和對(duì)流室？

答：1)加熱爐的輻射室有兩個(gè)作用：一是作燃燒室；二是將燃燒器噴出的火焰、高溫?zé)煔饧盃t墻的輻射傳熱通過(guò)爐管傳給介質(zhì)。這種爐子主要是靠輻射室內(nèi)的輻射傳熱，小部分靠對(duì)流室的對(duì)流傳熱，這只占整個(gè)傳熱的10％左右。

2)對(duì)流室的主要作用是：在對(duì)流室內(nèi)的高溫?zé)煔庖詫?duì)流的方式將熱量傳給爐管內(nèi)的介質(zhì)。在對(duì)流室內(nèi)也有很小一部分煙氣及爐墻的輻射傳熱。如果一個(gè)加熱爐只有輻射室而無(wú)對(duì)流室的話(huà)，則排煙溫度提高，造成能源浪費(fèi)，操作費(fèi)用增加，經(jīng)濟(jì)效益降低，為此，在設(shè)計(jì)加熱爐時(shí)，通常都要設(shè)置對(duì)流室，以便能充分回收煙氣中的熱量。