真空泵的極限壓強

泵的極限壓強單位是Pa，是指泵在入口處裝有標準試驗罩并按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的最/低壓強。

真空泵的抽氣速率

泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標準試驗罩，并按規定條件工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩指定位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速

 

在多數的水環式真空泵中，其工作溫度約為15-20℃，它取決于所補充水的溫度。實際上，水環泵的極限壓力并不十分重要，因為不同的液體，在壓力低于50-60hPa時，會發生氣蝕現象，泵的部件會遭到損壞。當泵接近極限壓力時，抽速很低，泵入口處的水開始沸騰。當轉至泵的出口時，形成的氣泡開始破裂。這樣就會產生很大的噪聲，同時泵的驅動輪和泵腔等部件被逐漸破壞。這種現象通常稱作氣蝕現象。一旦氣蝕現象發生，就要通過小閥引入少量的新鮮空氣。振動篦板在這種情況下，在入口官道上開個小孔，以便定量地加入些新鮮的其他，如果使用氣體噴射器，氣蝕現象就不會產生了。

 

真空應用設備種類繁多，但無論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統，以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例來說：一個真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當真空泵對容器進行抽空時，容器上要有真空測量裝置，這就構成了一個最簡單的真空抽氣系統。

最簡單的真空系統只能在被抽容器內獲得低真空范圍內的真空度，當需要獲得高真空范圍內的真空度時，通常在真空系統中串聯一個高真空泵。當串聯一個高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯的高真空泵是一個油擴散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等，這樣就構成了一個較完善的高真空系統。