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這種情況比較復(fù)雜，因?yàn)橹車鷼怏w介質(zhì)即使稍微漏入真空腔內(nèi)，也會(huì)使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體,真空設(shè)備就可能損壞。在很多情況下，真空度和真空空間的潔凈，對(duì)真空條件下進(jìn)行的各種工藝過程的質(zhì)量有決定性的影響。
真空器件所使用的機(jī)械密封在結(jié)構(gòu)上并無特殊之處。對(duì)于上述的一種情況，通常是采用氣密性好的金屬波紋營型單端面機(jī)械密封。第二種情況則要用雙端面機(jī)械密封，若使用單端面密封，勢必存在密封端面不能獲得潤滑的問題。
密封面內(nèi)圓柱面上的傷痕很可能是外面的雜物進(jìn)入密封面或安裝不當(dāng)造成的。密封面上的環(huán)形溝槽，多數(shù)是固體微粒沉積于密封面而引起的。
石墨環(huán)（動(dòng)環(huán)）的裂紋是由于傳動(dòng)件的振動(dòng)，橡膠圈的漲大以及石墨環(huán)本身的內(nèi)應(yīng)力造成的，而結(jié)焦則是因高溫所致，這在煉油廠的高溫?zé)嵊徒橘|(zhì)中是常見的。
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在理論分析方面，主要基于CFD進(jìn)行計(jì)算機(jī)模擬試驗(yàn)，研究問題集中在T型槽干氣密封端面壓力場分布規(guī)律、工作參數(shù)、幾何參數(shù)對(duì)密封性能影響等方面。最終結(jié)果皆表明T 型槽能產(chǎn)生較好的流體動(dòng)壓效果。2009年，Zhu等就工作參數(shù)和幾何參數(shù)進(jìn)行了詳細(xì)的討論，得到了選擇工作參數(shù)和幾何參數(shù)的一般原則：槽數(shù)應(yīng)在12～16之間，槽深應(yīng)在4 ～ 6μm之間，平衡間隙應(yīng)在0.8 ～ 14 μm 之間。
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真空用機(jī)械密封及橡膠
真空用機(jī)械密封的特點(diǎn)：真空器件比帶壓設(shè)備的密封困難。內(nèi)壓可以促進(jìn)密封，而在真空密封中，摩擦副的貼合主要靠彈性元件的加載，補(bǔ)償環(huán)輔助密封圈必須選用彈性好的材料才能實(shí)現(xiàn)密封。
真空器件的密封有兩種情況，一種是密封件把充滿液態(tài)介質(zhì)的某一容器與外部真空空間分隔開。
