LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業,對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。
特點:
★關鍵件全部采用進口件,具有高可靠性。
★具有可編程的升、降溫功能。
★具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。
★可存儲九條工藝曲線。每條工藝曲線最多有九步。
★曲線間可以任意鏈接、重復。
★具有高抗干擾能力。
★具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置。
★可為您提供斜滾式推拉舟系統,石英雙桿推拉舟系統及SiC漿推拉舟系統。
主要技術參數:
★可配工藝管數量:1~4管/臺; ★工作溫度范圍:400~1300℃;
★恒溫區長度及精度:300~1000mm 600~1280℃±0.5℃;
★單點溫度穩定性:600~1280℃±0.5℃/24h; ★{zd0}可控升溫速度:15℃/min
★{zd0}降溫速度:5℃/min