{zj0}的極限壓力完全無油無水
干式螺桿真空泵使用了獨特的螺桿轉子型線，排氣溫度低，工藝穩定，適用于各種領域的真空工藝，也維持了{zj0}的真空效率和耐用性。
介質不經過油和水，用可變壓縮方式操作，水蒸氣和液態混合工藝，非常適合干燥、溶劑回收、化工、制藥、塑料等各種真空工藝。
VPS干式螺桿真空泵特征
1) 工作腔內無水無油，通過轉子轉動產生清潔真空。
2) 單級設計可使固體廢棄物更容易排出并大幅減少留在泵內的殘余物。
3) 通過特殊涂層處理，可用于抽取有毒、有腐蝕性及可凝性氣體。
4) 工作方式不使用油或水，大幅降低操作成本。
5) 密封方式為機械或雙唇密封。
6) 簡便的設計易于設備維護。
7) 螺桿與螺桿之間及泵體與螺桿之間無接觸，使用壽命長。
8) 氣體通過泵體可迅速排出。
9) 螺桿轉子具有較高的容積效率。
10) 較低的轉速可降低振動及噪音。
干式螺桿泵的應用范圍：
在半導體合成及液晶生產上的應用，主要有半導體等離子增強氣相沉淀（PECVD）和反映離子刻蝕（RIE）工藝，液晶生產蝕刻制程和生產TFT熒幕電漿（PLASMA）的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護工件免受污染。
在石油化工中，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。
制藥行業，用于藥物的真空干燥，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無菌條件等。
化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝
工業排氣；集中式真空處理系統
擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝
混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物。
涉及無憂污水真空處理的所有應用
食品行業用于香料，香精濃度，食品包裝等。
韓國VPS中型干式螺桿真空泵參數表
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型 號
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VPS-P150
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VPS-P300
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VPS-P400
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VPS-P800
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抽 速
50/60Hz
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M3/h
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120/150
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250/300
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330/400
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680/800
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CFM
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70.6/88.3
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147.1/176.5
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194.2/235.4
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400.2/470.8
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極限
壓力
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(Torr)
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0.3/0.5
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0.2/0.1
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0.04/0.03
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0.03/0.02
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(Pa)
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40/20
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26.7/13.3
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5.3/4.0
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4.0/2.7
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電機功率(Kw,50/60Hz)
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5.5
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7.5/11
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11/15
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18.5/22
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泵轉速(RPM) 50/60Hz
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2900/3450
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2900/3450
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2900/3450
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2900/3450
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口徑
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入口(A)
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40
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50
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65
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100
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出口(B)
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40
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40
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50
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65
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齒輪油(L)
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1.3
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1.6
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2
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4
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冷卻水(L/min)
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3
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5
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7
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10
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重量(Kg,泵體)
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220
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320
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410
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630
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