VIVO-1000

品牌：ALFA 種類：平口機 型號：VIVO-1000

別名：端面平口機 用途：潔凈管平口 外形尺寸：300*300（mm）

1、機器功能：平口    在指定位置平口   去毛刺  

2、卡環范圍：外徑1/8"（3.175mm）- 1"(25.4mm)

切削范圍：內徑0mm--- 1"(25.4mm)

轉速（空載）：1擋：0---400r/min

              2擋：0---1450r/min

手動進刀量：1.5mm/轉

進刀行程：10mm

驅動：無繩電驅動

電耗：連續運轉時間15分鐘

機器重量：2.5公斤，帶電池

裝箱重量：7公斤

VIVO-1000

提供快速而簡單的操作，是承包商、操作員、維修部門等對高潔凈管路的理想工具，始終保證管口與管外徑的垂直度。

不銹鋼制管件是用來傳輸各種制程氣體的主要管件，尤其是傳輸一些劇毒易燃易爆的危險性氣體。所以不銹鋼制管件的制作和施工要求在以上幾種不同材質的管件中最為嚴格，一般對于P級要求（×10 -9級）制程氣體的輸送，均要求采用SUS316材質的EP (Electronic Polishing)管材，對于一般非制程氣體的輸送采用SUS316材質的BA （Bright Anneal）管材。SUS316作為一種低含碳量的不銹鋼材料，它不僅具有抗腐蝕性好的優點，而且對凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是經過了溶解、壓延（Hot/Cold Rolling）、溶接(Welding)、熱處理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等復雜過程，其表面粗糙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等過程外，再加以電解研磨及精密洗凈技術，其Rmax≦0.7mm[3] 。

氣體管件在安裝時，施工原則是應盡可能地以連續式且無接口的方式進行，這樣可以減少使用接頭的數量，降低潛在的氣體泄漏風險。管件與管件間的連接{zh0}以軌道式焊接法（Orbital Welding）來接合，對于不銹鋼的焊接要采用氬弧焊，并向施焊管內通入同等純度的氬氣，這樣可以確保連接的品質，并防止管件內壁因不當的焊接而沉積碳，從而造成氣體管件的污染。管件與各種配件之間的連接必須以金屬面對金屬面密封（Metal to metal face seal）的方式進行。一般晶圓廠比較常用的氣體管路連接的接頭方式有VCR 和Swagelok兩種，具體選用形式應根據生產工藝對高純度氣體的用氣要求和氣體本身特性進行選擇。一般情況下，VCR式的接頭主要用在制程氣體以及危險氣體的傳輸上，管路連接后接頭里面的墊圈（Gasket）將會適度變形以確保管路每秒低于10 -9cc的氦氣泄漏率（Leakage Rate）[4]。不過在接合時要避免因拴得太緊而導致不銹鋼墊圈過度變形造成接合不良或氣體外泄。Swagelok 接頭通常用在惰性氣體、氮氣以及CDA等氣體的傳輸上，因為這些氣體可以容許一定的外泄率，所以不常用成本較高且須焊接的VCR式接頭。總的來說，管件的安裝原則是應盡可能減少管件的長度、接頭和閥件的數量，因為大多數的危險氣體的泄漏都發生在施工不當的接頭和閥件接合處。