
產(chǎn)品說(shuō)明
平行曝光機(jī)主要用于光刻膠曝光.本系統(tǒng)由光源部份(采用日本平行光曝光燈)、玻璃搬送架、菲林基板自動(dòng)浮動(dòng)裝置、玻璃真空吸附平臺(tái)、玻璃自動(dòng)推定位裝置、平臺(tái)升降裝置、光源快門(mén)控制系統(tǒng)等幾部分組成,玻璃由搬送架進(jìn)入曝光區(qū)域后對(duì)位、吸真空、曝光、卸玻璃等動(dòng)作全部自動(dòng)完成.
機(jī)臺(tái)尺寸 :W1350mm x L3150mm x H2250mm
電源 :AC380V 50Hz 12KVA (可選擇)
有效曝光面積 :22"x26" (可選擇)
冷卻系統(tǒng) :燈管(冰水冷卻內(nèi)循環(huán)水)臺(tái)面(強(qiáng)制氣冷)
曝光控制器 :智慧型人機(jī)界面及曝光能量控制
基板固定方式 :真空吸著固定玻璃基板。
曝光間隙調(diào)整 :自動(dòng)
特點(diǎn)
(1)LCD智慧型中(英)文能量強(qiáng)度顯示。
(2)曝光臺(tái)面采用電磁鎖控制方式,方便精準(zhǔn)。
(3)可能量設(shè)定。
(4)中(英)文版故障異常檢知顯示系統(tǒng),方便操作使用。
(5)自動(dòng)控制進(jìn)水量大小,避免冬夏季及使用冰水機(jī)產(chǎn)生問(wèn)題。
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