10 IBE
上海伯東日本原裝進口適合小規模量產使用和實驗室研究的離子蝕刻機, 一般通氬氣 Ar, 內部使用美國 KRI KDC 40 產生轟擊離子; 終點檢出器采用 Pfeiffer 監測當前氣體成分, 判斷刻蝕情況.
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基板尺寸
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φ4 X 1wfr
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 可選
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樣品臺
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直接冷卻（水冷）0-90 度旋轉
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離子源
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4 cm,8cm,10cm,16cm
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均勻性
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±5% for 4”Ф
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硅片刻蝕率
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20 nm/min
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溫度
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<100
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伯東主要優點
1. 干式制程的微細加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導體元件, MR sensor 等領域的開發研究及量產得以廣泛應用.
2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領域都可以被廣泛應用.
3. 配置使用美國
4. 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環境下蝕刻.
6. 配置公轉自轉傳輸機構, 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.
7. 機臺設計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產過程.
10IBE 組成：
通氬氣 Ar 不同材料的蝕刻速率:
Hakuto 日本原裝設計制造 IBE, 提供微米級刻蝕, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對磁性材料,黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復合半導體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供. 可用于反應離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套離子蝕刻機. 蝕刻機可配置德國 和美國 !
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