低溫泵/冷泵 Cryopump
CRYO-PLEX?8型
抽速(升/秒): 空氣1500 l/s; 水氣4000l/s; 氫氣2500 l/s; 氬氣1200
通導(scc/min): 氬氣
重量（Kg）:20.4
吸氣能力（std.liters）：氬氣1000 氫氣18（5x10-6torr）
轉換點（torr.liters）:150
制冷時間（min）：90
泵口法蘭：6in.ANSI(外徑11in.) ISO NW200 10in.CF
外形尺寸（mm）：高526
CRYO-PLEX?8LP型
抽速(升/秒): 空氣1500l/s; 水氣4000l/s; 氫氣2200l/s; 氬氣1200
通導(scc/min): 氬氣700
重量（Kg）:19
吸氣能力（std.liters）：氬氣1000 氫氣12（5x10-6torr）
轉換點（torr.liters）:150
制冷時間（min）：90
泵口法蘭：6in.ANSI(外徑11in.) ISO NW200 10in.CF
外形尺寸（mm）：高179 長574
CRYO-PLEX?10型
抽速(升/秒): 空氣3000l/s; 水氣9000l/s; 氫氣5000l/s; 氬氣2500
通導(scc/min): 氬氣1500
重量（Kg）:38.6
吸氣能力（std.liters）：氬氣2000 氫氣24（5x10-6torr）
轉換點（torr.liters）:300
制冷時間（min）：60
泵口法蘭：10in.ANSI(外徑11in.) ISO NW320 14in.CF
外形尺寸（mm）：高508
CRYO-PLEX?16型
抽速(升/秒): 空氣5000l/s; 水氣16000l/s; 氫氣12000l/s; 氬氣4200
通導(scc/min): 氬氣500
重量（Kg）:72.6
吸氣能力（std.liters）：氬氣2500 氫氣15（5x10-6torr）
轉換點（torr.liters）:300
制冷時間（min）：150
泵口法蘭：16in.CVC(外徑17.7in.) ISO NW400
外形尺寸（mm）：高610