1專為高精密檢測，光學(xué)檢測及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計
2無刷無槽伺服電機直接驅(qū)動
3突出的速度穩(wěn)定性（電機無接頭效應(yīng)）
4{zy1}的運動性能,誤差小,無抖動
5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計
7無機械接觸
臺面直徑128.1-278.1mm
分辨率0.18-0.036arcsec
雙向重復(fù)定位精度<1arcsec