ABL3600雙軸，大孔徑，開(kāi)放式氣浮軸承平臺(tái)，專(zhuān)為掃描顯微鏡，掩模，晶片檢測(cè)獨(dú)特應(yīng)用而設(shè)計(jì)。 
設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu) 
結(jié)合高硬度氣浮軸承和雙直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)可保證XY開(kāi)放式平臺(tái)具有杰出的性能特征。ABL3600在性能上是傳統(tǒng)機(jī)械軸承開(kāi)放式平臺(tái)的升級(jí)版。 

同Aerotech所有氣浮軸承系統(tǒng)一樣，專(zhuān)有制造技術(shù)的使用以生產(chǎn)出杰出幾何性能即直線(xiàn)度，平面度，傾斜，滾轉(zhuǎn)和偏轉(zhuǎn)的平臺(tái)。ABL3600是由Aerotech{zxj}的產(chǎn)品工廠(chǎng)制造，且通過(guò)傳統(tǒng)方法不可達(dá)到的精確公差加工而來(lái)。 
無(wú)刷直線(xiàn)伺服電機(jī) 
ABL3600帶有高功率直線(xiàn)電機(jī)以滿(mǎn)足苛刻要求應(yīng)用的需求。該平臺(tái)具有直驅(qū)機(jī)械的所有優(yōu)勢(shì)：零背隙，無(wú)纏繞，特別的加速度，零摩擦和杰出的伺服硬度。許多應(yīng)用要求好的運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性，該性能只能通過(guò)直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)才能滿(mǎn)足。由于直驅(qū)無(wú)摩擦及無(wú)再循環(huán)因素，ABL3600是掃描，成像或其他精密應(yīng)用的理想選擇。 
高精度直線(xiàn)編碼器反饋 
標(biāo)準(zhǔn)反饋設(shè)備是高分辨率，非接觸，直線(xiàn)編碼器。這種非接觸式編碼器在工作條件先可提供杰出的重復(fù)定位精度和穩(wěn)定性?？商峁?shù)字量和模擬量輸出兩種方式。 
線(xiàn)纜管理 
經(jīng)過(guò)多年全面深思熟慮的研究，Aerotech可提供工業(yè)上{zh0}的線(xiàn)纜管理系統(tǒng)（CMS）。我們仔細(xì)優(yōu)化線(xiàn)纜彎曲半徑和只使用高質(zhì)量線(xiàn)纜以確保多年無(wú)故障操作。在很少發(fā)生的故障事件中，Aerotech的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)可以最小停機(jī)時(shí)間來(lái)提供線(xiàn)纜快速簡(jiǎn)易更換。 

為了使最終系統(tǒng)容易集成，我們?cè)贑MS線(xiàn)束中提供所有客戶(hù)要求線(xiàn)纜，氣管等。兩端可完全連接以簡(jiǎn)單集成到客戶(hù)機(jī)器上。 
定制系統(tǒng) 
Aerotech能設(shè)計(jì)制造定制高性能系統(tǒng)，以滿(mǎn)足客戶(hù)需求和多種應(yīng)用性能參數(shù)。我們能夠吸收超過(guò)35年運(yùn)動(dòng)控制和定位系統(tǒng)經(jīng)驗(yàn)來(lái)生產(chǎn)滿(mǎn)足您應(yīng)用的最理想的解決方案。