Aerotech ABL9000

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ABL9000氣浮平臺(tái)

1世上{zg}性能的氣浮平臺(tái),適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測(cè)和加工等要求苛刻的場(chǎng)合
2所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4Y軸雙直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)
5直線(xiàn)編碼器或激光干涉儀反饋
6主動(dòng)控制偏轉(zhuǎn)
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.10um
直線(xiàn)度±0.50um
平面度±0.50um

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AHL9000直線(xiàn)電機(jī)平臺(tái)

1專(zhuān)為晶片檢測(cè)，平板顯示加工和光學(xué)檢測(cè)及制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2掃描軸是空氣軸承，步進(jìn)軸是機(jī)械軸承
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4雙直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)步進(jìn)軸
5直線(xiàn)編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線(xiàn)度±0.60um
平面度±0.60um

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