1世上{zg}性能的氣浮平臺(tái),適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測(cè)和加工等要求苛刻的場(chǎng)合
2所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4Y軸雙直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)
5直線(xiàn)編碼器或激光干涉儀反饋
6主動(dòng)控制偏轉(zhuǎn)
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.10um
直線(xiàn)度±0.50um
平面度±0.50um