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一鍵式氬氣純化設(shè)備全自動(dòng)氬氣純化系統(tǒng)

發(fā)布:蘇州晟宇氣體設(shè)備有限公司 2015-03-17 本頁(yè)網(wǎng)址: http://m.1991game.com/sell/34260184.html
一鍵式氬氣純化設(shè)備全自動(dòng)氬氣純化系統(tǒng)

蘇州晟宇氣體設(shè)備有限公司

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一鍵式氬氣純化設(shè)備全自動(dòng)氬氣純化系統(tǒng)氣體公司專(zhuān)用氬氣純化機(jī)氮?dú)饧兓瘷C(jī)是蘇州晟宇氣體全力打造的高純氣體純化系列之一,以全新的工藝及外觀,高質(zhì)量的氣體純度體現(xiàn)了精湛的技術(shù)含量,相對(duì)低廉的價(jià)位展示了微利銷(xiāo)售的經(jīng)營(yíng)理念,服務(wù)于廣大用戶

一鍵式氬氣純化設(shè)備全自動(dòng)氬氣純化系統(tǒng)高純氬氣主要用途:用于焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣,為了提高硅晶體的質(zhì)量,如何選用較高純度的氬氣,是制作硅晶體的一個(gè)議題。通過(guò)本裝置對(duì)氬氣的使用,氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時(shí),水分也小于1ppm時(shí),制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,這樣就提高了單晶的使用壽命并能達(dá)到要求,贏得客戶的滿意和市場(chǎng)的需求。由于一般液氬汽化后未經(jīng)過(guò)純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時(shí)氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過(guò)了此范圍,但使用氬氣的客戶確不知道其質(zhì)量,所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何,只要經(jīng)過(guò)純化裝置的處理后,進(jìn)入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的。一般 O2<0.2ppm,水分<1ppm,這樣穩(wěn)定的氬氣對(duì)生產(chǎn)晶體質(zhì)量是有保證的。 氬氣純化裝置是針對(duì)需要使用超高純度氬氣的客戶而設(shè)計(jì)的。廣泛應(yīng)用于在金屬保護(hù)行業(yè)、電子、電光源、科研、氣體、分析、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域以及光譜儀、氣相色譜儀、科學(xué)儀器等等已知或未知的寬廣領(lǐng)域

一鍵式氬氣純化設(shè)備全自動(dòng)氬氣純化系統(tǒng)裝置特點(diǎn): 

1. 催化劑采用了{(lán)zxj}環(huán)保的催化材料。具有吸附深度高,吸收雜質(zhì)氣量大的特點(diǎn),經(jīng)催化吸附干燥過(guò)濾后使其最終純度達(dá)99.9999%以上。100級(jí)的氣體出口過(guò)濾器使其最終純氣顆粒小于0.1μ,確保氣體滿足高純氣要求,原位再生功能保證了氣體的品質(zhì)如一,達(dá)到了環(huán)保節(jié)能的最終目的

2. 本裝置所有閥門(mén),容器,管路全系不銹鋼制作,均采用國(guó)內(nèi)外專(zhuān)業(yè)制造企業(yè)的名優(yōu)產(chǎn)品,直接保證了設(shè)備工作過(guò)程中的高真空無(wú)滲透及無(wú)故障運(yùn)行安全可靠性。

3. 精致的控制儀表,電路電器選自高端跨國(guó)公司,如西門(mén)子,施耐德等。

4. 設(shè)備所有連接接頭均選自知名企業(yè)先進(jìn)的VCR接頭,杜絕滲漏,安全快捷。

5. 人性化的外觀設(shè)計(jì),使設(shè)備外形精巧更美觀,操作更方便

6. 進(jìn)出口微氧分析儀在線監(jiān)測(cè),直觀顯示原料氣體氧含量及純化后的氧氣含量。

7. 純氣最終過(guò)濾系統(tǒng)一用一備,更具人性化,徹底解決無(wú)故障運(yùn)行顧慮。

8. 加氫還原系統(tǒng)采用質(zhì)量流量計(jì)控制,真正做到定時(shí)定量全自動(dòng)運(yùn)行。

9. 一鍵式啟動(dòng)設(shè)備,工作狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示,操作簡(jiǎn)單、安全、明了。

10. 嚴(yán)格的質(zhì)量控制,在制作過(guò)程中,邀請(qǐng)需方作全過(guò)程跟蹤督察。

一 、一鍵式氬氣純化設(shè)備全自動(dòng)氬氣純化系統(tǒng)設(shè)備工作原理 

設(shè)備工作設(shè)有兩組工作組,填裝的凈化材料屬于可再生重復(fù)利用材料。原料液氬經(jīng)汽化器汽化后由設(shè)備工作進(jìn)口進(jìn)入設(shè)備一組工作組,經(jīng)脫氧劑、分子篩及精密{gx}過(guò)濾器后送出至工作點(diǎn)使用。一組工作組負(fù)荷飽和后,切換到另一組工作組工作,保證為使用點(diǎn)連續(xù)的提供高純氬氣。同時(shí)一組工作組開(kāi)始再生加熱加氫反吹洗(本系統(tǒng)加氫是為了還原脫氧劑,加氫結(jié)束后設(shè)備自動(dòng)吹洗并直接放空),為等待下一次切換使用做好準(zhǔn)備。裝置工作為常溫工作,脫氧程度深、碳水含量低,均可達(dá)到并高于GB高純氬氣標(biāo)準(zhǔn)。

二、一鍵式氬氣純化設(shè)備全自動(dòng)氬氣純化系統(tǒng)主要技術(shù)條件 

1、 處理氣量 ≥2-320Nm3/h 

2、工作壓力 <0.8Mpa 

3、原料氬氣純度 ≥99.99% 

4、純化后 O2 ≤0.2ppm CO+CO2<0.3ppm CH4<0.2 ppm H2O≤1ppm 

一鍵式氬氣純化設(shè)備全自動(dòng)氬氣純化系統(tǒng)技術(shù)保障措施;

      1 組合式純化工藝,分級(jí)處理。

      2 凈化器采用特殊結(jié)構(gòu)和裝料方法,流速設(shè)計(jì)合理,氣流分布均勻。

      3 凈化爐采用特殊設(shè)計(jì)的加熱構(gòu)造,加熱均勻、穩(wěn)定。

      4 采用優(yōu)質(zhì)管件,閥門(mén),避免管道和閥門(mén)影響氣體質(zhì)量。

      5 采用優(yōu)質(zhì)的電器元件和控制儀表,保證溫度穩(wěn)定,減少溫度和影響。

      6 凈化器的活化程序,嚴(yán)格按照活化程序執(zhí)行,根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況適當(dāng)調(diào)整。

      7 對(duì)用戶的操作員進(jìn)行設(shè)備操作培訓(xùn),了解設(shè)備工作原理,掌握設(shè)備操作方法,熟悉設(shè)備的開(kāi)車(chē)、停車(chē)、停電、停水處理方法。

      8 對(duì)用戶設(shè)備建立檔案,及時(shí)提醒用戶對(duì)設(shè)備進(jìn)行例行檢查和維護(hù)。是設(shè)備處在{zj0}工作狀態(tài)。

本裝置可與區(qū)熔硅單晶爐配套使用,也可用于激光器、濺射、真空濺射鍍膜機(jī)。半導(dǎo)體生產(chǎn)、光譜儀,氣相色譜儀、特殊燈泡、稀有金屬加工等需要用高純氬氣的生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。

關(guān)鍵詞:氬氣凈化機(jī),氬氣凈化器,高純氬氣凈化,高純氬氣凈化設(shè)備,高純氬氣純化設(shè)備,高純氬氣純化裝置,YAC系列氬氣凈化設(shè)備,全自動(dòng)氬氣純化設(shè)備,大型氬氣凈化設(shè)備,硅材料行業(yè)用氬氣凈化設(shè)備,硅材料用除氧、除水氬氣純化裝置,氣站專(zhuān)用氬氣凈化設(shè)備,氣站專(zhuān)用氬氣純化器,氣站用高純氬設(shè)備,單晶硅行業(yè)用氬氣除氧、干燥設(shè)備,多晶硅行業(yè)用氬氣除氧、干燥設(shè)備,高純氬氣提純?cè)O(shè)備,鎢化氬氣提純機(jī),多晶硅氬氣過(guò)濾器。

  

高溫吸氣劑就是一些金屬合金。它的表面會(huì)和一些雜質(zhì)如氧,CH4等反應(yīng)。而且在高溫下(300-700度)這些雜質(zhì)會(huì)從表面擴(kuò)散到材料內(nèi)部從而保持表面和新的雜質(zhì)的反應(yīng)能力。這種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是可以去甲烷和氮(用于氮?dú)鈺r(shí)除外)。一般用來(lái)純化稀有氣體(氦氖氬氪氙)的比較多。也有用來(lái)純化氮和氫的。但是用的材料不同。
     晟宇氬氣純化耗材選用2 q- A  S' N; o7 M/ c% J高溫金屬合金吸氣劑,它的表面會(huì)和一些雜質(zhì)如氧,CH4等反應(yīng)。而且在高溫下(300-700度)這些雜質(zhì)會(huì)從表面擴(kuò)散到材料內(nèi)部從而保持表面和新的雜質(zhì)的反應(yīng)能力,采用新型工藝解決不可再生的困惑延長(zhǎng)了設(shè)備耗材的使用年限,做到節(jié)能增收的目的

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