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▲真空室箱體:主要規格有800*1000mm、1000*1200mm、1200*1500mm、1500*1600mm、1800*1950mm,并可以根據客戶具體要求設計非標產品。
▲夾具方式:采用公自轉行星式齒輪結構,工件速度在1-15轉/分鐘可調,掛具有6軸、8軸、10軸、12軸等各種規格,適合不同大小尺寸的裝飾、工具鍍膜。
▲控制氣體方式:采用質量流量計控制,進氣穩定,反應速度快,可以配加自動壓強控制。
▲靶:采用整體制造技術,結構合理而簡單,維護更換靶材方便,具有自動/手動引弧功能。
▲電源:配置直流脈沖電源(電壓、占空比可調節),逆變電弧電源。
▲抽氣系統:采用國產品牌機械泵、羅茨泵、擴散泵,根據其真空室大小確定合理型號。也可以根據客戶的需要配備分子泵或者進口泵等。
▲抽真空參數:從大氣抽至5*10‾³Pa≤15min極限真空度8*10‾4Pa控制系統可以選用手動控制;計算機控制,觸摸屏面板控制。 |