應(yīng)用領(lǐng)域
RGDL系列真空氣氛管式爐廣泛用于高、中、低溫CVD工藝，例如：碳納米管的研制，試驗(yàn)用碳纖維碳化、晶體硅板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)可控生長(zhǎng)等等，也可用于金屬材料的擴(kuò)散焊接及真空或氣氛保護(hù)下的熱處理。
主要特點(diǎn)
采用精煉石英管或高純高于管作為爐膛，可拆卸的密封方式，具有良好的潔凈度和真空度，耐火保溫材料全部采用先進(jìn)的輕質(zhì)纖維制品，整機(jī)質(zhì)量輕、低能耗。加熱元件采用優(yōu)質(zhì)硅鉬棒、硅碳棒或進(jìn)口電阻絲；溫度控制系統(tǒng)采用原裝進(jìn)口智能多段程序溫度控制儀控制，具有良好的穩(wěn)定性、均勻性。
技術(shù)指標(biāo)
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設(shè)備型號(hào) |
溫區(qū)個(gè)數(shù) |
{zg}溫度 |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
爐管尺寸及材料 |
裝機(jī)功率 |
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RGDL(D)-2/80/44 |
2個(gè) |
1100℃ |
440mm |
Φ80石英管 |
5kw |
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RGDL(Z)-1/60/30 |
1個(gè) |
1400℃ |
300 mm |
Φ60剛玉管 |
8 kw |
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RGDL(G)-3/60/60 |
3個(gè) |
1650℃ |
600 mm |
Φ60剛玉管 |
18 kw |
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RGDL(D)-1/50/70 |
1個(gè) |
1200℃ |
500 mm |
Φ70石英管 |
8 kw |
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RGDL(Z)-2/30/60 |
2個(gè) |
1400℃ |
600 mm |
Φ60高純剛玉管 |
10 kw |
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RGDL(G)-1/50/80 |
1個(gè) |
1650℃ |
500 mm |
Φ80高純剛玉管 |
12 kw |
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備注：RGDL系列管式爐全部可以按照客戶要求通入各種惰性、還原性、反應(yīng)性氣體，通過(guò)浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)控制氣體通入量。同時(shí)還可以通過(guò)單機(jī)機(jī)械泵或真空機(jī)組預(yù)抽真空，系統(tǒng)具備冷態(tài)極限真空6.67×10﹣² Pa 。 |