日本UNION EMA-400 桌面面罩對準器

發布:東莞市高騰達精密工具有限公司 2024-12-09 本頁網址： http://m.1991game.com/sell/45478919.html

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詳細介紹

EMA-400

桌面面罩對準器

特點
*經濟、緊湊和高級性能
* 在視野中查看兩個對準標記的融合圖像。
* 用于曝光的積分器鏡頭。
* LED illuminator
APPLICATION
(Micromachine development in R&D center and university)
*Acuator, Pressure Sensor, Acceleration Sensor, Power Device, etc.
* Exposure for Flip Chip/BGA/CSP。
* 光/高速通信組件的曝光。

對齊范圍
目標分離	15 至 75 毫米
總放大率	100X
觀察用照明器	綠色 LED (λ=540nm)
X, Y 載物臺移動范圍	±5 毫米
θ調整	±5°
效用
主體和水銀燈電源	交流 100V 50/60Hz 15A
真空源	低于 21.3 Kpa（-80 Kpa 從大氣壓）
壓力源	大于 0.2MPa（N2 氣體或干燥清潔空氣）
曝光單元
鏡片	積分透鏡
水銀燈	250W超高壓蒸氣汞燈
有效曝光面積	φ100 mm
強度分布	±5% 或更少
照明強度	20 毫瓦/平方厘米（405 納米）
曝光時間控制	數字定時器和旋轉螺線管
汞燈照明單元	交流 100V